100%国产自研，专为工业、科研、便捷干涉测量而开发。300×300（90000）个相位点的高分辨率，400-1100nm宽光谱响应，10帧全分辨率实时3D结果显示，为激光光束波前检测、自适应光学、光学系统校准、光学窗口片检测、光学平面面形、球面面形测量、表面粗糙度、表面微观轮廓检测等提供理想的波前传感测量工具。
FIS4 HR-W采用随机编码四波衍射专利技术实现单路被测波前自干涉，于后端像面位置发生干涉。对光源相干性要求低，无需移相，利用普通成像系统即可实现干涉测量。具有超高抗振性能、超高稳定性，无需隔振即可实现nm级精度测量，相对于微透镜阵列哈特曼传感器具有更多高分辨相位点、适应波段范围更宽、动态范围更大、更优性价比。
易于调节
如工业相机般
快捷使用
单光路，抗振性能好
无需隔振
普通木桌即可测量
测量
重复性优于
1/1000λ
可兼容
红外、紫外
可见光波段
搭配高速相机
可实现
超高帧率采样
一对一
指导
搭建光路
易于调节
如工业相机般
快捷使用
单光路，抗振性能好
无需隔振
普通木桌即可测量
测量
重复性优于
1/1000λ
可兼容
红外、紫外
可见光波段
搭配高速相机
可实现
超高帧率采样
一对一
指导
搭建光路
光束波前检测光路
光束波前检测测量示例
自适应光学光路
自适应光学-Zernike模式的波前探测响应
光学平面面形测量光路
光学平面面形测量示例
光学球面面形测量光路
光学球面面形测量示例
光学窗口片测量光路
光学窗口片测量示例
晶圆表面粗糙度检测光路
晶圆表面粗糙度测量示例
光学系统校准光路
光学系统校准测量示例
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光源类型 |
LED、卤素灯等宽光谱光源 |
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波长范围 |
400~1100nm（用于白光） |
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靶面尺寸 |
7.07mm×7.07mm |
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空间分辨率 |
23.6μm |
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相位输出分辨率 |
300×300 |
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绝 对 精 度 |
10nmRMS |
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相位分辨率 |
≤2nmRMS |
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动态范围 |
≥80μm |
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采样速率 |
24fps |
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实时处理速率 |
10Hz（全分辨率下） |
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接口类型 |
网口 |
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尺寸 |
56.5mmx43mmx41.5mm |
|
重量 |
约120g |
|
制冷方式 |
无 |
◆ 友好的软件交互界面，显示三维形貌、等高图
◆ 输出PV、RMS、POW、PSF、OTF、MTF等数值
◆ 可自由圆形、方形选取测量区域，选取后可自由调整
◆ 可实时动态采集显示，便于动态观察三维波形变化
◆ 可通过拉线测量高度值曲线、计算区域粗糙度等数值参数
◆ 友好的软件交互界面，显示三维形貌、等高图
◆ 输出PV、RMS、POW、PSF、OTF、MTF等数值
◆ 可自由圆形、方形选取测量区域，选取后可自由调整
◆ 可实时动态采集显示，便于动态观察三维波形变化
◆ 可通过拉线测量高度值曲线、计算区域粗糙度等数值参数
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