100%国产自研，专为助力科研与高精度工业场景开发，更高的分辨率可以在波前探测中具有更多的细节信息，512×512（262144）个相位点的超高分辨率， 400-900nm宽光谱响应，5帧全分辨率实时3D结果显示，为激光光束波前检测、自适应光学、平面面形测量、光学系统校准、光学窗口片检测、光学球面面形测量、表面粗糙度检测、表面微观轮廓等提供理想的波前传感测量工具。
FIS4-UHR-C采用随机编码四波衍射专利技术实现单路波前自干涉，于后端像面位置发生干涉，对光源相干性要求低，无需移相，普通成像系统即可实现干涉测量，具有超高抗振性能、超高稳定性，无需隔振即可实现nm级精度测量。相对于微透镜阵列哈特曼传感器具有相位点更多、适应波段范围更宽、动态范围更大、价格更低。
易于调节
如工业相机般
快捷使用
单光路，抗振性能好
无需隔振
普通木桌即可测量
测量
重复性优于
1/1000λ
可兼容
红外、紫外
可见光波段
搭配高速相机
可实现
超高帧率采样
一对一
指导
搭建光路
易于调节
如工业相机般
快捷使用
单光路，抗振性能好
无需隔振
普通木桌即可测量
测量
重复性优于
1/1000λ
可兼容
红外、紫外
可见光波段
搭配高速相机
可实现
超高帧率采样
一对一
指导
搭建光路
激光光束波前检测光路
激光光束波前检测测量示例
自适应光学光路
自适应光学-Zernike模式的波前探测响应
光学平面面形测光路
光学平面面形测量示例
光学球面面形测量光路
光学球面面形测量示例
光学窗口片检测光路
光学窗口片测量示例
晶圆表面粗糙度检光路
晶圆表面粗糙度测量示例
光学系统校准光路
光学系统校准测量示例
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光源类型 |
连续激光、脉冲激光、LED、卤素灯等宽光谱光源 |
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波长范围 |
400~900nm |
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靶面尺寸 |
13.3mm×13.3mm |
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空间分辨率 |
26μm |
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相位输出分辨率 |
512×512 |
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绝 对 精度 |
10nmRMS |
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相位分辨率 |
≤2nmRMS |
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动态范围 |
≥160μm |
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采样速率 |
30fps |
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实时处理速率 |
5Hz（全分辨率下） |
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接口类型 |
网口 |
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尺寸 |
70mmx71mmx68.5mm |
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重量 |
约380g |
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制冷方式 |
液冷散热器 |
◆ 友好的软件交互界面，显示三维形貌、等高图
◆ 输出PV、RMS、POW、PSF、OTF、MTF等数值
◆ 可自由圆形、方形选取测量区域，选取后可自由调整
◆ 可实时动态采集显示，便于动态观察三维波形变化
◆ 可通过拉线测量高度值曲线、计算区域粗糙度等数值参数
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