FIS4四波动态干涉仪，基于共路四波横向剪切干涉原理。镜头通用；抗振性强，无需单独隔振平台；无需移相，易调节；性价比高；100%国产自研，高精度！ 高抗振性！ 实时观测！
动态干涉仪平面测量光路如图所示：
激光器准直扩束，经分光镜和扩束镜，照射于被检平面，被检平面反射回的光束携带被测平面表面面型信息，通过缩束镜后，进入FIS4传感器进行面型信息解调。
动态干涉仪平面测量光路如图所示：
激光器准直扩束，经分光镜和扩束镜，照射于被检平面，被检平面反射回的光束携带被测平面表面面型信息，通过缩束镜后，进入FIS4传感器进行面型信息解调。
动态干涉仪平面测量光路如图所示：
激光器准直扩束，经分光镜和扩束镜，照射于被检平面，被检平面反射回的光束携带被测平面表面面型信息，通过缩束镜后，进入FIS4传感器进行面型信息解调。
球面动态干涉仪，利用了一个组合的双干涉系统：
（a）FIS4 四波剪切干涉测量系统，激光器准直扩束，经分光镜和标准消球差镜，照射于被检球面, 反射光束携带被测球面面型信息，进入FIS4传感器进行面型信息解调。避免了如菲索、泰曼格林等双光束干涉中被检光路受外界扰动影响。
（b）泰曼格林球面干涉调整系统 。
◆ 系统整体通过滑块置于五维调整架上，可以通过锁紧手轮固定，方便用户使用过程中进行姿态的调整。
◆ 干涉仪五维调整架如图所示，包含X方向手轮、Y方向手轮、Z方向升降手轮、偏摆手轮、俯仰手轮，分别可以调整干涉仪的X方向、Y方向、Z方向、偏摆角度和俯仰角度。
◆ 系统整体通过滑块置于五维调整架上，可以通过锁紧手轮固定，方便用户使用过程中进行姿态的调整。
◆ 干涉仪五维调整架如图所示，包含X方向手轮、Y方向手轮、Z方向升降手轮、偏摆手轮、俯仰手轮，分别可以调整干涉仪的X方向、Y方向、Z方向、偏摆角度和俯仰角度。
光学平面面形测量示例
光学球面面形测量示例
光学系统校准光路
光学系统校准测量示例
光学窗口片测量光路
光学窗口片测量示例
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测量方式 |
共路单光路测试 |
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光源波段 |
632.8±1nm |
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输出相位分辨率 |
512 x 512 |
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标准消球差镜 |
F1\F3\F5\F7,……,32（根据需求选配） |
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动态范围(μm) |
＞250 |
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精度PV值 (λ) |
≤1/20λ |
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RMS 测量重复性(λ) |
≤1/1000λ |
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测量分辨率(nm) |
2 |
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实时显示帧频(Hz) |
10 |
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传感器随机配备 |
图像处理服务器 |
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配备处理软件 |
《四波前剪切波前重构软件》能实时显示输出波前的：PV值、RMS值、POWER值 |
◆ 友好的软件交互界面，显示三维形貌、等高图
◆ 输出PV、RMS、POW、PSF、OTF、MTF等数值
◆ 可自由圆形、方形选取测量区域，选取后可自由调整
◆ 可实时动态采集显示，便于动态观察三维波形变化
◆ 可通过拉线测量高度值曲线、计算区域粗糙度等数值参数
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