FIS4-LPI-100 平面动态干涉仪（立式）
达到15帧实时动态测量
262144个相位点的超高分辨率
2nm RMS高相位分辨率
100%国产自研，基于FIS4四波干涉传感器研发了LPI-100平面干涉仪，具有自主知识产权。可以对100mm口径内的平面光学元件面型进行实时检测，携带被测元件面型信息的光束在通过特殊编码的光栅后发生衍射，将波前横向剪切一分为四，形成四波前的共路剪切二维干涉条纹，通过对二维干涉的解调，获取元件的面型信息。
设备操作简单，上手快，运行稳定、测量精度高，可做到15帧实时动态测量。可以为光学加工企业、各大院校、计量单位、科研机构研究人员、科技论文撰写的相关人员提供可靠的数据。
◆ 基于共路自干涉原理，设备无需参考镜，具有很强的抗干扰能力，在普通工厂环境也可实现平面面型的精准检测
◆ 可实现实时动态检测，能够实现15帧/秒的动态检测
◆ 具备自主知识产权，性价比高，调整简单，结构紧凑
LPI-100的平面动态干涉仪搭载FIS4四波干涉传感器，可以对100mm平面光学元件面型进行干涉相位检测。该干涉仪无需防止隔振平台上，在普通车间环境中即可实现平面面型的精准检测。
标准平面镜面型检测
平面平晶检测
LPI-100平面干涉仪功能模块可以分成照明光源模块、二次扩束模块、载物模块、用于辅助样品姿态调节的光斑对焦模块、用于样品表面面型检测的干涉传感器模块。
系统的光源模块：采用气体氦氖激光器，激光器中心波段632.8nm。
二次扩束模块将光斑大小扩束至100mm，满足大口径检测。
载物台部分用于放置待检测的平面光学元件，如平面平晶、单抛晶圆、窗口片、平面反射镜等。载物台设置了X、Y方向移动手轮，控制样品台的移动，使设备出射光斑完全覆盖待测样品表面。同时，载物台上还设置了两个用于调节样品倾斜姿态的旋钮，通过调节该旋钮，使待测平面与光轴垂直。
成像系统具有双相机系统。其中一路使用光学成像相机，构成用于辅助样品姿态调节的光斑对焦模块，通过实时观察样品返回光斑位置，进行样品姿态的调整，确保测量的准确性。另外一路搭载FIS4四波干涉传感器，构成用于样品表面面型检测的干涉传感器模块，通过记录共路干涉条纹，可实现待测样品表面三维信息的实时反馈。双相机系统可同时工作。
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检测口径（mm） |
100*100 |
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CCD像素 |
2048*2048 |
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采样点 |
512*512 |
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波长（nm） |
632.8 |
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动态范围（μm） |
100 |
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测量精度PV值 |
±15nm |
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精度RMS值（λ） |
≤1/30λ |
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RMS测量重复性（λ） |
≤1/1000λ |
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测量分辨率（nm） |
2 |
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实时显示帧频（Hz） |
10 |
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传感器随机配备 |
图像处理服务器 |
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配备处理软件 |
《四波前剪切波前重构软件》能实时显示输出波前的：PV值、RMS值、POWER值 |
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整机重量（KG） |
50 |
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