FIS4-LPI-100 平面动态干涉仪（卧式）
达到15帧实时动态测量
262144个相位点的超高分辨率
2nm RMS高相位分辨率
100%国产自研，基于FIS4四波干涉传感器研发了LPI-100平面干涉仪，具有自主知识产权。可以对100mm口径内的平面光学元件面型进行实时检测，携带被测元件面型信息的光束在通过特殊编码的光栅后发生衍射，将波前横向剪切一分为四，形成四波前的共路剪切二维干涉条纹，通过对二维干涉的解调，获取元件的面型信息。
设备操作简单，上手快，运行稳定、测量精度高，可做到15帧实时动态测量。可以为光学加工企业、各大院校、计量单位、科研机构研究人员、科技论文撰写的相关人员提供可靠的数据。
◆ 共路自干涉-无需参考面
◆ 抗振性好，无需隔震平台，普通车间环境可以应用检测
◆ 实时性好，可做到15帧动态检测
◆ 性价比好，调整简单，结构紧凑
LPI-100平面干涉仪搭载FIS4四波干涉传感器，对晶圆、平面平晶、光束质量检测、瞬态波前检测、光学平板元件、蓝宝石衬底片、精密金属表面等面形、透射波前检测、窗口平板玻璃畸变检测等。
光学元件表面面形检测
蓝宝石元件透射波前检测
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检测口径（mm） |
100*100 |
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CCD像素 |
2048*2048 |
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采样点 |
512*512 |
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波长（nm） |
632.8 |
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动态范围（μm） |
100 |
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测量精度PV值 |
±15nm |
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精度RMS值（λ） |
≤1/30λ |
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RMS测量重复性（λ） |
≤1/1000λ |
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测量分辨率（nm） |
2 |
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实时显示帧频（Hz） |
10 |
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传感器随机配备 |
图像处理服务器 |
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配备处理软件 |
《四波前剪切波前重构软件》能实时显示输出波前的：PV值、RMS值、POWER值 |
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整机重量（KG） |
50 |
询盘
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