FIS4-白光轮廓仪

基于数字干涉传感器共路自干涉,优异的抗震性能

无需额外参考光路

无需干涉物镜,仅需普通成像物镜

多物镜切换,保证大视野,高分辨率

图片展示

FIS4-白光轮廓仪(桌面立式),对光滑元件表面微观形貌及粗糙度量测,定标板表面划痕量测,是光滑元件装调、检测过程的一个重要设备。

 无需参考面,设备抗振性能好

 多物镜切换,大视野,高分辨率

 无需额外参考光路

 普通成像物镜即可使用

 性价比高、结构紧凑、操作简单

 强大的数字波前重构的图像处理软件包

FIS4-便携式3D轮廓仪 / 白光轮廓仪(桌面立式)搭载FIS4四波干涉传感器,对光窗表面光滑元件、定标板等进行量测。

光滑元件表面微观形貌及粗糙度

定标板表面划痕等高图和3D图

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