100%国产自研,512×512(262144)个相位点的超高分辨率,实现900nm到1200nm波段的高精度波前测量,可用于光学系统像差测量、光学系统校准、材料内部晶格分布测量、超表面、超透镜波前测量等。
FIS4 NIR-C将随机编码四波衍射专利技术与红外相机相结合,于后端像面位置发生干涉,对光源相干性要求低,无需移相,普通成像系统即可实现干涉测量,具有超高抗振性能、超高稳定性,无需隔振即可实现nm级精度测量。
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光源类型 |
连续激光、脉冲激光、LED、卤素灯等宽光谱光源 |
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波长范围 |
900~1200nm |
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靶面尺寸 |
13.3mm×13.3mm |
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空间分辨率 |
26μm |
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相位输出分辨率 |
512×512 |
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绝 对 精度 |
15nmRMS |
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相位分辨率 |
≤2nmRMS |
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动态范围 |
≥260μm |
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采样速率 |
30fps |
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实时处理速率 |
5Hz(全分辨率下) |
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接口类型 |
网口 |
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尺寸 |
70mmx71mmx68.5mm |
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重量 |
约380g |
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制冷方式 |
液冷散热器 |