第二十届全国光学测试学术交流会

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基于四波剪切的FIS4球面动态干涉仪

光学元件的球面面形检测时难免受到外界环境扰动影响，为此有动态干涉仪使用线栅偏振片对每个像素进行旋转以得到不同的相移，

相机同步获得四帧相移干涉图，形成了泰曼格林、菲索型等动态干涉仪，省略了四步相移的时间，

但还是一个双光束干涉系统，因此曲率半径过长条纹易抖动造成了测量结果的不稳定。

如何解决此问题？则FIS4四波干涉传感器（Four-wave Interferometric Sensor，FIS4）可以有效解决双光束干涉条纹抖动的弊端。

FIS4球面动态干涉仪利用了组合的双干涉系统，如图1（a）所示，波前图像采集干涉系统是利用了具有随机编码混合光栅的FIS4干涉传感器，

由于是共路干涉所以干涉条纹非常稳定。光路调整则利用了一个泰曼格林干涉系统，解决由于FIS4干涉传感器产生的二维网格干涉条纹，

不易观察消球差镜的焦点F与被检面的球心C重合的调整状态，

图1（b）为一个泰曼格林干涉系统，双光束分别经参考镜、被检球面镜，由此可以观察消球差镜的焦点F与被检面的球心C重合的调整状态。

利用图1（c）组合的FIS4球面动态干涉仪可以获得高精度的稳定的检测结果。