高精度物镜波前检测难题攻克！FIS4双方案揭秘光学检测新范式

传统干涉测量面临环境振动敏感、光路复杂、移相繁琐三大难题。FIS4波前传感器（Wavefront Sensor）凭借四波剪切干涉技术，通过单光路设计和实时波前重构算法，从根本上解决了这些问题，让工业现场实现实验室级精度成为可能。

技术破局：FIS4的核心优势

FIS4波前传感器（Wavefront Sensor）基于四波剪切干涉技术，采用单光路设计，无需参考光路，从根本上简化了光路结构。其共路设计使得系统对环境振动极不敏感，即使在没有隔振平台的工业现场，也能保持纳米级稳定性。更值得一提的是，FIS4通过实时波前重构算法，摒弃了传统干涉仪繁琐的移相过程，可直接获取完整的相位信息，测量效率提升数倍。

两种物镜测试方案详解

方案一：标准球面反射镜法

测试方案 1 光路图如图 2 所示：激光器发出激光经过扩束镜和分光镜后进入待测物镜，待测物镜会聚光束与标准球面反射镜球心重合，光束经标准球面反射镜原路返回，依次经过待测物镜和分光镜进入 FIS4 波前传感器进行波前测量。

这一方案的核心优势在于系统误差标定功能。通过使用标准平面反射镜对入射光路进行预先标定（图3），FIS4 可存储系统误差数据。在正式测量时，软件自动扣除系统误差，从而精确提取待测物镜的真实波前信息。

方案二：理想球面波法

测试方案 2 光路图如图 4 所示，激光器经过扩束后再使用会聚镜进行会聚，会聚到小孔上，经过小孔后产生理想的球面波，再经过待测物镜进入 FIS4 波前传感器进行波前测量。

此方案通过小孔产生理想球面波，直接对待测物镜进行检测。关键在于小孔位置与物镜焦点的精确重合，FIS4的实时Zernike系数分析功能为此提供了完美解决方案。

FIS4 的技术优势在物镜检测中的体现

✅ 卓越抗振性能

共路设计确保在工业振动环境中保持<5nm波动

无需隔振平台，现场即获实验室精度

✅ 实时指导装调

Zernike系数实时分析，直观指导光学调校

离焦项最小化确保物镜焦点精准定位

✅ 高效测量

毫秒级波前重构，告别传统移相等待

实时输出PV、RMS、PSF、MTF、Zernike系数等关键参数

国产高端仪器的突破

自2006年起，浙江大学杨甬英教授团队历经17年研发推出宽光谱FIS4系列波前传感器（Wavefront Sensor），完全国产自研，实现对法国某波前传感器的技术超越，一致性大于 99%!

FIS4波前传感器（Wavefront Sensor）不仅在物镜检测中表现优异，在自由曲面、非球面、空间光学系统等高端光学制造领域均有成熟应用方案，提供全程技术跟踪服务，从售前方案设计到售后技术支持，确保用户获得最佳使用体验。

欢迎需要物镜波前检测的专家学者与技术团队交流合作，我们提供试检服务与定制化解决方案。