FIS4无需隔振平台，一键三维成像，让系统装调一步到位

在高端光学系统制造与研发中，校准环节始终是决定系统最终性能的关键。从光刻机物镜到空间望远镜，从激光加工系统到医疗成像设备，光学系统的像差校准精度直接影响其分辨率和成像质量。传统校准方法依赖经验丰富的工程师和复杂的调试流程，已成为制约光学系统性能提升的瓶颈。

传统光学系统校准面临的核心痛点

• 依赖专家经验 - 校准精度高度依赖操作人员的技能水平，结果难以量化和复现

• 环境敏感低效 - 需在隔振平台上反复调试，耗时长达数小时甚至数天

• 调试盲区难消 - 依靠肉眼观察和试错调整，难以发现细微光路偏差

FIS4四波剪切干涉技术：重新定义光学校准标准

基于四波横向剪切干涉(QWLSI)原理的FIS4波前传感器（Wavefront Sensor），为光学系统校准带来了突破性解决方案。自2006年起，这项由浙江大学杨甬英教授团队历经十多年研发的创新技术，正在成为现代光学工程中不可或缺的工具。

✅ 像差精准识别与量化

精准识别球差、彗差、像散等Zernike像差至64项

达到2nm RMS测量精度，捕捉最微小波前畸变

实时显示波前相位图，直观呈现像差分布

✅ 智能校准引导

依据实时数据提供明确的调整方向与量值，降低对人经验的依赖

同时监测PSF、MTF等关键指标，确保系统整体性能优化

记录校准全过程，为后续优化提供数据支持

✅ 热稳定性监测与补偿

连续监测系统温升导致的波前变化

精准评估温度对系统性能的影响程度

提供基于温度变化的补偿方案

✅ 闭环控制与高效集成

实时反馈测量结果、指导调整过程，形成“测量-反馈-调整”闭环控制

支持与电动调整机构集成，实现半自动/全自动校准

即插即用设计、多平台兼容特性，满足不同场景校准需求

FIS4波前传感器（Wavefront Sensor）为光刻机、激光系统、自适应光学及医疗设备等高端光学装备的校准提供全覆盖解决方案。其凭借纳米级精度、智能闭环控制与实时热漂移补偿能力，将传统依赖经验的“艺术性”调试，转化为基于数据的、高效可复现的“科学性”流程，大幅提升了校准效率和一致性，助力光学系统实现性能极限。