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2024-05-23 09:56:19
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干涉测量是基于光波的叠加,在干涉场中产生亮暗交替的干涉条纹,通过分析处理干涉条纹即可获取被测量的有关信息。

传统典型双光路干涉光路
存在问题:易受振动干扰,需要移相过程,测量过程难调节,难以应用于工厂环境。

基于共路四波横向剪切干涉原理
优势:单光路干涉超强抗振性能,无需参考光,布局简单,无需专用干涉器件,调节快捷简便,可以实时成像,无需移相过程,特别适应用于工厂环境的高精度检测。

FIS4-HR 高分辨率
四波干涉传感器

FIS4-UHR 超高分辨率
四波干涉传感器

FIS4-HS 超高速
四波干涉传感器

FIS4-NIR 近红外
四波干涉传感器

FIS4-Cell 生物细胞
四波干涉传感器

FIS4-UV 紫外
四波干涉传感器
支持短波紫外、远红外及超远红外特殊波段的定制
激光光束波前检测
气动光学、高速流场
自适应光学
激光损伤阈值实时测量
超表面、超透镜波前测量
气体等离子体密度测量
光学系统像差测量
平面、球面面形测量
光学系统校准
光学窗口片检测
光学球面面形测量
材料内部晶格分布测量
晶圆表面粗糙度检测
光学元件表面粗糙度检测
精密元件刻蚀深度测量
超光滑金属表面粗糙度测量
无标记3D活体细胞检测
生物组织检测
生殖细胞检测
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