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【国产自研创新突破赋能精准测量】

在全球半导体制造、光学镀膜及超精密加工技术快速迭代的背景下，行业对多光谱兼容、超高稳定性的多波段波前检测技术需求呈现指数级增长。近日，作为波前检测技术领域的深耕者，晶耐科光电携手愚程光感向上海某研究所批量交付FIS4-UHR传感器。该解决方案凭借其卓越的可见光波段适应性与纳米级检测稳定性，助力客户在项目研究中实现关键性技术突破，再次验证了FIS4在应对极端检测挑战时的技术能力。

此次合作标志着四波剪切干涉波前检测技术在高难度科研场景中的成熟应用，FIS4干涉传感器不仅满足了客户对可见光波段同步检测的需求，更以优越的长期检测稳定性，为客户的纳米级研究提供了可靠的数据支撑。

此次交付的FIS4-UHR干涉传感器（如图1）专为满足该客户在可见光波段的检测场景中特殊需求而设计：

取样分辨率可达512×512，靶面尺寸达13.3mmx13.3mm大靶面，同时支持多波长可见光光源适配：532nm常规激光光源、以及485nm、633nm、850nm等多波段标准光源模块切换，攻克可见光波段大靶面超高精度检测中的单一性，提供更多灵活性选择。

（图一）FIS4-UHR干涉传感器

为保障设备在客户实际场景中的高效运行，晶耐科光电携手愚程光感团队同步提供驻场技术支持，完成传感器安装、波长标定及传感器操作培训。客户反馈高度满意本次验收。

该系统配套FIS4-UHR干涉传感器测量软件。可通过单次测量实现波前误差(WFE)，光学像差(Zernike系数)和调制传递函数(MTF)等。

FIS4-UHR干涉传感器测量软件覆盖可见光波段, 兼顾高分辨率、高动态范围及纳米级相位灵敏度，且操作简易，系统紧凑且便于快速对准。

FIS4干涉传感器因其独特优势，如紧凑性、鲁棒性、高时间分辨率和与现有显微系统的兼容性，已成为一种强大且多用途的工具，在科研和工业领域中有广泛的应用空间。FIS4干涉传感器最初用于传统的光学车间检验，包括光学元件测试、激光束评估以及自适应光学，后来其应用范围扩展到了生物医学成像、纳米颗粒定位、超表面和温度梯度的表征。

FIS4-UHR波前传感器相关应用

激光光束波前检测示例

光学系统校准测量示例

超表面波前测量示例

END

晶耐科光电携手愚程光感将持续扩展FIS4干涉传感器的波长覆盖范围与技术边界，为半导体、航空航天、生物医疗等领域客户提供更灵活的检测解决方案。诚邀全球合作伙伴垂询，共同探索精密制造的无限可能！

FIS4-UHR批量成功交付

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