超表面、超透镜波前测量_传感器_干涉测量

实时监测，探测到纳米级的表面形变

超表面超透镜利用亚波长尺度的结构实现了传统光学无法达到的功能，如负折射和超分辨率成像。这些器件的性能依赖于其微纳米级的复杂表面形貌，因此，在设计和制造过程中对这些形貌的精准测量至关重要。FIS4四波干涉传感器能够通过白光干涉测量技术进行这种精准测量，它支持实时监测，能够探测到纳米级的表面形变，从而对超表面超透镜的生产和质量控制提供了重要的技术支持。

测量优势

单帧图实现完整测量

◆ 波前分布

◆ 强度分布

◆ 光束参数分析

高分辨率

◆ 多达512×512相位采样点

◆ 高动态范围

◆ 纳米级灵敏度

易于调节集成

◆ 小巧、紧凑

◆ 支持平行、会聚光束

◆ 超强的抗振性能

测量示例

▎超表面波前测量

测量演示

测量示例

▎超透镜波前测量光路

▎超透镜波前测量

测量演示

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