气体等离子体密度测量_传感器_干涉测量

实时监测激光光束在穿过等离子体时发生的相位变化，推导出等离子体中电子的密度

气体等离子体测量技术关注于高能态气体的物理特性，其中气体原子的部分或全部电离，生成带电粒子如离子和自由电子。这些等离子体的基本属性包括温度、密度、电荷状态和化学成分，它们的测量对于控制等离子体相关过程、优化其在工业应用中的表现以及推进科学研究极为关键。

在等离子体的诊断中，FIS4四波干涉传感器能够实时监测激光光束在穿过等离子体时发生的相位变化。通过这种相位变化的测量，可以推导出等离子体中电子的密度。这种实时测量对于精准控制等离子体参数、实时监控其变化以及优化工艺流程具有重要价值。

测量优势

单帧图实现完整测量

◆ 波前分布

◆ 强度分布

◆ 光束参数分析

高分辨率

◆ 多达512×512相位采样点

◆ 高动态范围

◆ 纳米级灵敏度

易于调节集成

◆ 小巧、紧凑

◆ 支持平行、会聚光束

◆ 超强的抗振性能

测量示例

▎气体等离子体密度测量光路

测量演示

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